在高真空與半導體制造領域，設備對材料性能的要求愈發(fā)嚴苛。隨著工藝精度與良率的提升，設備制造商不僅關注材料的耐熱性與潔凈度，更將減重與結構穩(wěn)定性作為核心設計方向。輕量化陶瓷材料的出現(xiàn)，使真空裝備在速度、能效與穩(wěn)定性上實現(xiàn)質的飛躍